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第二百四十章 美国制裁来了万字大章（第6页）

好一会后海蓝科技的负责人王道林道：“徐总，在研发进度上，我们的DUV干式光刻机已经算是差不多了，各子系统基本都解决了问题，顶多下个月，也就是六月份，我们就能够按照计划把第一台样机造出来！”

“我们对这个项目信心比较大，等样机搞出来，再送到智云微电子那边进行测试调整，如果一切顺利的，大概明年这个时候就能够进行小规模量产，以满足六十五纳米生产线的需求。”

“而更进一步的DUV浸润式光刻机，各子系统和DUV干式光刻机是高度类同的，物镜以及光源，工作台等系统都是可以沿用的，但是有一些专利问题不好解决，直接做的话会侵犯台积电以及荷兰ASML的专利。”

徐申学道：“专利问题先不考虑，先把东西做出来，大不了不外卖，自己用就是了，难不成他们还能跑过来拆开我们的光刻机看看有没有侵犯他们的专利啊！”

“我们的安保部门又不是吃素的！”

“先解决有无问题，然后再来解决这个专利问题！”

王道林道：“如果不考虑专利问题的话，那么按照我们的时间进度表，大概大后年左右我们预计就能够拿出来第一台的DUV浸润式光刻机，后续再慢慢的进行技术改进，一步一步的提升工艺水平，良率。”

徐申学道：“好，我再把时间给你放宽松一些，大后年年底，也就是15年底，我就要看到第一台纯自产，不会被卡脖子的DUV浸润式光刻机！”

王道林此时咬牙道：“大后年年底，没有问题！”

“其他几种核心设备我们也都在研发，整体技术难度虽然也有，但是也没有什么不可跨越的技术问题，我们还是有信心到明年，初步解决了六十五纳米工艺的主要核心设备的研发，往后三四年进一步深入到更先进的四十五纳米工艺以及以下制程的设备！”

说完研发进度，又同时吹牛皮表了决心，给徐申学一个大概时间表后，王道林接下来就各种提要求了。

资金投入这些最基本就不用说了，张口就是上百亿的研发资金投入，只不过这货币单位只是华夏元，徐申学表示区区十来亿美金，小意思，都懒得和王道林讨价还价，当场就答应下来。

看到徐申学这爽快答应的模样，王道林都有些后悔了，刚才应该把资金要求再夸大一些的……

随后王道林又提人才要求，最近海湾科技看中了不少高技术人才，但是不太好挖，因为都是一些科研单位里的技术骨干，然后还有不少智云科技那边的高技术人才，这种敏感关键人才要是直接傻乎乎跑过去挖，很容易挨嘴巴子……

徐申学听罢后道：“人才这事我来协调！”

随后王道林又说其他的要求，但是和钱以及人才比起来就相对不是问题了，徐申学基本都满口答应了下来。

等临走的时候，徐申学对王道林道：“老王啊，这几种关键设备都要拜托你了，多看着点，多催着点，时间不等人啊！”

王道林点点头道：“徐董，你不说我也懂，我比你还心急呢！”

看完海湾科技这边的情况，徐申学直接把宝贵的S级科研名额用在了海湾科技DUV光刻机的一个大佬级别的院士头上。

随后离开前往其他几个半导体产业链的企业进行视察。

半导体产业链除了这几种关键核心设备外，还有大量的辅助设备以及耗材也非常重要，缺了任何一种都不行。

徐申学是一路看过来，然后又到了智云微电子那边了解情况。

最终对集团旗下的半导体产业链有了一个基本的认知，基本上130纳米以上的生产，从设备到耗材已经可以实现全面自主化，无非就是成本高一些而已。

然后是六十五纳米工艺节点的设备以及耗材，目前已经部分实现，按照各路时间进度表来看，到明年问题也不大。

其中比较高关键耗材的ARF光刻胶，已经算是弄出来了……偷偷摸摸挖过来的那群日本工程师能力真的非常强，硬是把他们原来的产品给原样复制了过来，进而拿到了大量的美元奖励。

拿到奖励后，这些日本人看见华夏人给钱给的痛快，而且待遇也非常好，干脆也不愿意走了，就直接拿股份继续做下来。

尽管这玩意受限于专利无法公开，也没有办法对外出售商用，但是手头上毕竟是有了，回头真被制裁了，偷偷摸摸自己用，只要保密好，问题也不大。

当然，想要真正公开的话，后头还需要解决解决技术问题，绕过一大堆的专利，搞出来属于自己的ARF光刻胶才行。

但是不管怎么说，东西在手，底气都足了一些。

按照目前的进度来看，整个六十五纳米工艺的半导体产业链，到明年就能够解决一大半，后年估计也就差不多能全面自产了……至于问题，还是老问题，成本太高。