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专利没有,火箭筒倒是有不少。
在半导体制造领域,徐申学的策略一直都是非常明确的:先解决有无问题,其他的什么专利啊,好不好用,商业化好不好搞都往后排。
先把东西给弄出来,然后再考虑其他问题。
而海湾科技就是这一策略下的产物,并且截止到目前来说,这一策略可以说相当成功。
靠着不折手段再加上科研系统的辅助,还有国内数十年的工业基础积累,众多研究所,企业,高校的配合。
然后还有徐申学疯狂砸下去的数以百亿美元计的投入。
最终,呈现在徐申学面前的,就是这些光刻机了以及其他几种核心设备了。
王道林这个时候,正在给徐申学介绍他们的光刻机产品:“徐董,目前我们公司的前道光刻机产品,已经覆盖了i-line光刻机,KRF光刻机,DUV干式光刻机,DUV浸润式光刻机一共四大类型,工艺制程可以覆盖10纳米到500纳米。”
“其中我们的i-line光刻机已经推进到第二代,相对比第一代大幅度提升了产能,提升了效率,降低了芯片的制造成本,该光刻机用于成熟的350-500纳米的芯片生产,具有成本低,效率高的特性,目前广泛供应国内各厂商以及部分海外厂商,这款光刻机和我们的KRF光刻机,目前是没有专利障碍的,所以也面向国外客户供应,利用我们的低成本优势也获得了一定的海外市场,不过整体技术上还是对比国外的产品有差距,因此销量一般。”
“KRF光刻机,同样也进行了改进,推出了升级型号,提升了效率,这款光刻机用于成熟的130-250纳米工艺,该款光刻机我们的智云微电子里以及其他国内厂商大量采用,使用反馈很不错,乃是我们的诸多光刻机产品里,客户反馈最好的一款,成本低,容易维护,生产效率好,所以这一款光刻机我们的出货量还是比较大的,每年出货超过四十台!”
“DUV干式光刻机,我们的初代型号是HDUV-100,后续我们又推出了改进型号HDUV-200以及300,最新的HDUV-300型号,今年刚实现量产并供货,进一步提升了套刻精度,为客户提供更加良好的65工艺节点的生产,整体效率也进一步提升,降低芯片生产成本。”
“这系列光刻机,出货量也比较大,预计今年我们能够出货大概五十台以上,主要供给智云微电子,中芯等厂商以及其他几家国内厂商,主要用于55-90纳米工艺节点。”
“DUV浸润式光刻机,是目前我们的核心产品,技术先进,售价也相对高昂,该系列光刻机也是目前我们公司的主要营收来源!”
前面几代的光刻机虽然也还有市场,不过这些老旧光刻机已经卖不出什么价了……毕竟落后芯片都卖不什么价格了,制造出这些落后芯片的落后光刻机,同样也卖不出什么价来。
当然,虽然价格低一些,但是依旧还有市场,并且市场还不小。
因为成熟光刻机,它除了可以直接生产成熟工艺的芯片外,也可以作为先进工艺芯片的辅助设备使用。
小知识,芯片的生产过程里,往往需要经过很多次的光刻机曝光,而其中的大部分曝光工序对光刻机的要求不会太高,因此可以由成熟落后的光刻机进行操作,以节省制造成本。
只有在核心曝光工序的时候,才会使用最先进的HDUV-500型或类似ASMLDUV浸润式光刻机。
后续如果采用了EUV光刻机,也是类似的情况,大部分对精度要求不高的曝光工序其实都是DUV光刻机进行的,只有最核心的工序部分才会由EUV光刻机来完成。
这也是为什么先进工厂,需要先进顶级光刻机的同时,也需要采购大量成熟光刻机的缘故……因为这些是搭配在一起使用的。
如果所有的曝光工序都由顶级光刻机来完成,那将会是极大的浪费,成本会迅速暴涨。
这是芯片生产过程里的成本控制问题!
总之但凡有可能,晶圆厂都会想尽办法使用落后成熟的光刻机来进行绝大部分工序,以节省成本。
这也是为什么看似落后的光刻机还能有不小市场的缘故。
只是,市场虽然还有,但是价格不高就是了。
真正价格昂贵的,还得是DUV浸润式光刻机!
海湾科技这边也不例外,卖的最贵的还是HDUV-400500这两款光刻机。
尤其是后者可以玩两次曝光,套刻精度达到三点五纳米,其价格非常昂贵,如果加上各种配套服务,还有后续的技术支持等费用,一套下来得差不多四千万美元。
至于很多中小晶圆厂期待光刻机国产化后,变成白菜价,千把万美元就能拿下的就别做梦了……HDUV-500这种顶级工业产品,技术含量极高,加工难度极大,系统整合难度也大。
一套四千万美元,这已经算是很便宜了。
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