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第47节（第2页）

“这就是我们三个这些天集思广益想出来的图纸，当然闫组长也明白，最重要的还是李筠，她的脑子不知道是什么东西做的，居然可以把我们的想法完美在纸上复制下来。

原本我们是想着时间紧任务重，就着现在成熟的激光器改动一点内部构造，但是随着讨论的越来越深入，我们发现那样的改造是完全不够的，不足以支撑后面的实验。

因此耗费的时间有点长，现在才把图纸交上来。同时，这个激光器的制作恐怕需要专门的人员负责，无法自己动手改造。”

闫旭东一边听着秦浩的介绍，一边仔细看着眼前精巧的图纸。

只需一眼，就能给明白秦浩话里的意思，虽然这张图的构造比起之前要复杂不少，可也正因为是这样，这台激光器发射的电子束会更加稳定，安装的换气装置也会更加安全，形成的准分子激光自然不会差到哪里去。

他双眼放光地看着眼前的图纸，久久没有回话。

沉默许久之后，抬头看了一眼对面的秦浩，夸赞道：“你们三个真的很厉害，耗费一点时间不算什么，只要能够做出让人惊艳的作品就行，而且相较于其他人的任务，你们的任务更重。

把图纸交上来之后，这边你们暂时就没有什么事情需要忙了，老师会尽快给你们安排新的任务，这台激光器也会尽快制作出来。”

“这样我们就放心了，那我就先离开了。”

“你先去吃饭，顺便休息一下。”

秦浩点点头，转身离开。

依旧端坐在椅子上的闫旭东，还在震惊地看着眼前的图纸。

虽然秦浩没有说明，但他很明显能够看出来，虽然这台激光器经过了大改造，但是它与其他部分连接的尺寸是不变的。

也就意味着当它制作出来之后，能够完美地与其他光刻机设备融为一体，届时操作将会更加简便和稳定。

能够在完成大改造的同时，也注意到这些细枝末节，很不简单。

这个小项目的顺利完成，也算是他们与计算科技研究所合作的一个进步，对方现在可是再不停地催促。

他感觉最近老师的白头发都多了不少，估计是烦的。

因为合作的原因，闫旭东嘴里的休息也不过是一个下午，第二天三人就被分配了新的任务。

李筠被分到研究半自动接近式光刻机的赵本民教授，因为姜文泽教授接触式这里人手充足，而新开发的接近式和投影式还处于正在开发的阶段，需要的人手不少，像是其他两人就被分到了投影式实验室。

说来，她第一次来到实验室看到的就是接触式和投影式的对抗现场，就是不知道后面结果如何。

人手是真的缺，她刚到实验室，就被赵本民教授的助手赵蔓分配到负责物镜的组别。

可以说，除了光源之外，光刻机的研究当中，镜头就是其最核心的部分，包括物镜和曝光台。

李筠被分到的是物镜观察，她需要一遍又一遍地观察从激光器发射而来的激光，通过矫正器、能量探测器、光束形状设置、遮光器到达掩膜台后，透过物镜在硅片上显影蚀刻制作晶圆。

物镜可以调整光束的形状，入瞳、透过平面、出瞳，将掩膜上的电路图案调整缩小，聚焦成像在晶圆上。

对于像差调节的要求特别高，不确定性很大，她自己都不敢说，什么时候才能调整出最合适的比例。

唯一值得庆幸的一点就是，接近式光刻机在掩膜板与光刻胶基底层留有一个狭窄的空隙，不会没进行一次尝试就要担心掩膜被污染，只得关闭设备重新再来一次。