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第七百八十五章 光刻机的技术之墙得用水泡（第3页）

“既然秦总确定，那我们就用这种技术，不过……这也只能解决暂时的问题，继续提升工艺，还是会遇到拦路虎。”

193纳米经过折射变成了133纳米，也就意味着，0.13微米的工艺能解决了，之后进入纳米时代呢？还是会遇到光刻机的光源问题的！

“接下来，一步到位，开发EUV光刻机，光源使用13.5纳米的极紫外波长。”

徐教授一阵惊讶：“这也太快了吧？”

“一步步来，还会不断地遇到技术难题，还不如加大攻关难度，将这个捣鼓出来，以后十年二十年，都不用担心光源问题了。”

秦锋不懂具体的技术细节，但是他懂技术的发展路线，仅仅是这个，就会让己方的技术遥遥领先对手了。

在光刻机的技术探索上，有很多失败的例子，尼康的157纳米是个坑，同时，还有光刻机生产厂研究过126纳米光源，但是，这个波长更奇葩，不仅仅是熔石英会吸收，任何材料的吸收都很厉害，透镜不能用，只能用全反射的方式，结构跨度太大，分辨率也没提升多少。

所以，后世的光刻机厂商各种研究，最终认为，干脆一步到位，上13.5纳米的光源。

这个光源的研究，也是经过了长时间的尝试的，甚至最初还是13.4纳米，各种研究之后，才锁定13.5纳米。

“这个光源……”徐教授仔细地思考了一番：“得在真空中，还得是反射结构。”

反正继续向下选，各种光源都是需要真空环境加反射镜的，和之前的结构完全不同，所以，一步到位！

寻找反射的条件也不容易，最终工程师们找到了反射率最高的Mo-Si布拉格反射器，一层Mo薄膜加上一层Si薄膜，它的最高反射率在13.5纳米波长的位置，于是，这种光源就被确定了下来。

其他的技术路线，X光之类的，都被超越了。

不过，最初的时候，精度并不是特别高，只是比193浸润式光刻机提升了三倍而已，就算是这样，过渡到纳米时代也没问题了，之后不断研究，提升分辨率就可以了。

“具体的结构你们来选择，具体的技术难关，你们来攻克，不过，这条技术路线绝对是没问题的，你们按照这条路线发展就可以！”

秦总虽然是个外行，但是每次提出来的建议都是非常正确的，所以，徐教授没有继续犹豫，点头说道：“好，秦总，那我们就按照这个技术路线来！”

其中有多少技术难题，秦锋也不知道，这是手下们要干的！

现在，总算是没问题了吧？

看到徐教授依旧皱着眉头的样子，秦锋继续问道：“徐教授，还有问题？”

“目前，尼康正在研究193纳米光刻机，据说研究顺利，台积电已经下了几台订单，用不了多久，台积电也将会向0.18微米工艺发起冲击，而我们……”

秦锋皱着眉头，他最近一直忙活着造车等业务，高科技这一块，从来没输过，所以就没太多关注。

按说台积电应该走下坡路才对，没想到，居然又活过来了？

“台积电后来又从硅谷挖了一批人过来，尤其是蒋尚义，他是个技术天才，继续领导台积电。”

台积电能成为后世的庞然大物，那也是有资本的，林本坚、杨光磊、蒋尚义、孙元成、梁孟松、余振华六个技术大能，就是台积电最强悍的人，而台积电的真正发迹，也就是打赢了0.13微米制程这场仗。

将铝互联变成铜互联，使用浸润式光刻机，解决漏电问题……这几个人功不可没。

其中，蒋尚义是在97年才加入进来的，而且，一屁股就坐到了研发副总的位置上，以至于引来了内斗，其中一部分人离开，有的去了三星，有的去了中芯国际，然后台积电就开始玩起来了专利侵权的官司游戏来打击对手。

现在，一部分技术大能走了，蒋尚义过来，居然成了台积电的一把手，领导台积电搞先进技术，还试图想要翻身？