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如果单纯从不沾灰的角度讲,通过掩模垂直透光,应该很容易能达到你想要的效果。”
光透过小缝隙垂直照下去,哪有缝隙,下面那张纸就哪里亮,这是在基本不过的常识。
陆定远虽然不是什么科研人员,但在初中物理课也算是学霸的他,觉得之前夏黎说精度可能还是不够,这句话有些违背物理常识。
心中疑惑,便在回来的路上直接问了夏黎。
夏黎倒是也没隐瞒。
想了想,她抽过陆定远手里的手电筒,把另外一只手圈成ok状,用手电筒的光垂直直射手指圈成的圈,之后对陆定远朝地上微微抬了抬下巴。
手电筒的光透过夏黎手指圈成的圈,并没有在地上照亮和夏黎手指圈一样大小的光圈,而是照亮很大一片昏黄的灯光。
夏黎:“理论上确实可行,但物理书上的许多理论都是刨除一切外界因素,最单纯的原理。
实际上,光具有波动性,在通过小孔、窄缝,遇到细微障碍物时产生衍射,或者叫绕射,使光偏离原本的直线传播,照到不应该照到的地方。
光源波长相比窄缝越大,衍射先向越重。
你想用氘灯在硅片上刻一道100纳米的扣子,结果你的山东范围有400纳米宽,精度自然就会有所下降。
我将光眼膜抬起的距离并不高,只希望这种衍射的宽度并不太大,勉强可以制造出芯片吧。
这样少用一些光掩膜,也能省一些钱,具L的还得明天试验看。”
光掩膜和光刻胶的距离越近,精度就越好,也越容易沾灰。
光掩模和光刻胶的距离越远,精度就越不好,但他不沾灰。
这是一种两难全的改造方案。
只希望距离不远,误差小一点,这样也可以勉强先用着,至少制造超级计算机的时侯,成本会降低许多。
她穷!
夏黎这个配着实验的例子举的过于贴切,且简单易懂,陆定远一听就听明白了。
但他也听出来了,夏黎对今天的改动可以彻底解决光刻机的问题并不看好。
想了想,他提议道:“我去和柳师长商量一下,看看能不能给你秘密配备一套制作几枚芯片的材料,让你可以在调整光刻机后进行实验。
否则每天晚上你改装完,白天由其他科研人员试验,晚上你还要接着来改装,太累了,你需要好好休息。”
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