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第三百三十章 全球最好的老板（第5页）

仙女山控股体系下的各企业，一向来是徐申学的科研名额的投入大户，每个月新增加的成就点所购买的S级以及A级别的科研名额，基本都是给仙女山控股体系这边用了。

智云集团那边除了智云微电子外，其他项目组，子公司都已经好久没有得到过A级以上的科研名额新增了，都是用原来的一些科研名额顶着，不过原来分配过去的高级别科研名额也不少，所以也够用了。

看完了诸多这些现成的核心设备，徐申学又了解了一番EUV光刻机的研发进度。

王道林介绍道：“目前我们正在汇同各大子系统供应链企业，对EUV的多种关键技术进行集中攻关！”

“主要是EUV光源系统，高精度的弧形离轴反射镜构成的光学系统，还有超高精度的真空双工件台。”

“除了光刻机本身的技术外，我们也在配合仙女山控股体系下的其他兄弟公司，研发EUV掩膜版，沉积工艺等等。”

“而我们负责主导的EUV光刻机研发上，目前光源系统的进度是比较快速的，我们之前获取了完整了EUV所使用极紫外光光源的技术资料，而经过我们数年的反复尝试和试验，已经算是制造出来了极紫外光的光源！”

“但是距离实用性还有一定的差距，我们的激光部分问题不大，但是在激光轰击锡滴的频率还是不够，无法达到技术资料上所需要的每秒五万次。”

“我们已经针对这个技术难题牵头，进行了技术攻关，目前进展还算顺利，也许明年年中我们应该就能够把这个光源给搞出来！”

“还有则是光源的反射镜，因为极紫外光的特殊性，很多材料无法反射这种光线，而是会被吸收，因此我们还需要一种全新材料所制造的反射镜来反射这种极紫外光！”

“这部分工作主要由南方光学所承担，据我所知，他们已经尝试研发出来一种镜面材料，效果很不错，如今的难题是卡在了及镜面加工上，EUV光刻机所需要的镜面精度，超过了DUV光刻机镜面精度一个量级，他们正在和国内的几家科研所进行合作，准备搞这个镜面加工。”

“双工台的话，这个难度倒是稍微低一些，我们如今的双工台技术还是很不错的，哪怕直接套用也勉强可行，只是会浪费EUV的13.5纳米的光源所带来的精度而已。”

“我们也正在开发精度更高，效率更高的双工台，为EUV光刻机进行配套！”

“整体下来，我们的EUV光刻机目前所遇到的技术难题还是比较多，光源系统和双工台系统都还算好，我们还是有把握的，不过这反射镜就不太好搞了。”

“毕竟按照南方光学的说法，他们搞的这反射镜系统，其精度几乎等同于从地球发射一道激光，然后准确命中月球上的一个足球，难度是相当大。”

“因为这个反射镜系统比较难搞，我们的EUV光刻机的具体进度如何，也就要看这个反射镜系统什么时候能够搞出来了。”

说这话的时候，王道林也是挺无奈的！

他们海湾科技说起来厉害，搞的是光刻机……但是他们其实就是个组装厂，几乎不生产任何的核心零部件。

光刻机的核心零部件都是依靠仙女山控股体系下的其他兄弟公司或国内其他厂商所供应的。

他们玩的是系统整合……当然，这部分技术难度也非常高，没点过硬的实力也是无法做到的。

但系统整合的前提是零配件得技术性能达标啊。

要是零配件不行，他们海湾科技也是巧妇难为无米之炊。

海湾科技的很多技术人员，都一度喜欢自嘲自己是玩破烂的，用国内拉跨的零配件然后组装出来还算不错的光刻机或其他核心设备。

但是……前期是得有破烂零配件啊！

如果连破烂零配件都没有，那还玩个毛线！

而现在在极紫外光反射镜领域里，就是属于连破烂都没有的程度，所以海湾科技这边也很难搞。

徐申学听罢后，则是心中默默记着了，回头就给南方光学那边多调几个S级以及一批A级科研名额，进一步加强他们的核心研发人员的技术水平。

徐申学是无法给所有的重要项目的核心技术人员，都给弄一个S级科研名额的，别说S级了，A级都很难得到满足。

绝大部分科研人员，其实获得的还是最低级别的D级科研名额，这个级别的科研名额只要十点，便宜管饱。

徐申学甚至都是让系统按照人头发的，只要是入职的技术人员人手一个。